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多用途樣品清潔及儲存腔室
全部分類
Multipurpose_chamber_source_ON
Multipurpose_Chamber_storage
Multipurpose_Chamber_storage+source
Multipurpose_Chamber_source+chamber_side_view
TEM holder storage station1

多用途樣品清潔及儲存腔室

通過選配外部附件如:EM-KLEEN遠程控制等離子源和/或TEM樣品桿適配器,多用途腔室可配置成不同的應用。EM-KLEEN遠程等離子體源可以采用空氣、氧氣或氫氣產生氧和氫自由基,用于樣品清潔和表面活化。如果腔室配備了TEM樣品桿適配器,則可接受和清潔來自Thermo Fisher、JEOL和Hitachi的共六個TEM樣品桿,然后它還可以用作樣品桿真空儲存站。當然,EM-KLEEN等離子源也可被取下并安裝到SEM、FIB或XPS等真空腔室上
產品型號:
Multi-purpose chamber
Multipurpose_chamber_source_ON
Multipurpose_Chamber_storage
Multipurpose_Chamber_storage+source
Multipurpose_Chamber_source+chamber_side_view
TEM holder storage station1
產品描述

多用途樣品清潔及儲存腔室——TEM&SEM樣品清潔及貯存方案

 

通過選配外部附件如:EM-KLEEN遠程控制等離子源和/TEM樣品桿適配器,多用途腔室可配置成不同的應用。EM-KLEEN遠程等離子體源可以采用空氣、氧氣或氫氣產生氧和氫自由基,用于樣品清潔和表面活化。如果腔室配備了TEM樣品桿適配器,則可接受和清潔來自Thermo Fisher、JEOLHitachi的共六個TEM樣品桿,然后它還可以用作樣品桿真空儲存站。當然,EM-KLEEN等離子源也可被取下并安裝到SEM、FIBXPS等真空腔室上。

配置

多用途腔室配置EM-KLEEN等離子源。

應用:EM-KLEEN遠程等離子源采用室內空氣、氧氣或氫氣作為處理氣體產生氧或氫自由基。待清潔樣品可從頂部玻璃門裝載。EM-KLEEN等離子源也可被取出,安裝到SEM、FIBXPS系統真空腔室上進行腔室清潔。

 

配置

多用途腔室配置等離子源及TEM樣品桿適配器。

應用:EM- KLEEN遠程等離子源用于SEM&TEM樣品清潔。樣品可通過頂部玻璃門裝載或通過適配器插入TEM樣品桿。EM- KLEEN等離子源也可被取出并安裝在SEM、FIBXPS系統上,用于真空腔室清潔。腔室可用無油渦卷泵或渦輪分子泵工作站抽真空。

 

配置

在腔室上安裝TEM樣品桿適配器,可作為樣品&樣品桿真空儲存腔室。腔室可由無油渦卷泵或渦輪分子泵工作站抽真空??偣部煞胖昧鶄€TEM樣品桿。它可放置JEOL、HitachiThermo FisherTEM樣品桿。

 

TEM樣品桿真空儲存站

 

 

TEM樣品桿真空泵站可在真空條件下存放最多6TEM樣品桿,幫助樣品和樣品桿放氣,去除水氣凝結,保持樣品和樣品桿的清潔。也可用于樣品桿的檢漏。

儀器特點:

•  每臺設備共6個存儲單元。

•  每個存儲單元都可以通過電磁閥進行獨立的抽放。當取出其中一個樣品桿時,其余的單元仍可保持在真空狀態下。

•  多個存儲系統可以連鎖連接,共享一個真空泵。它還可以與Tergeo-EM系統共用一個真空泵。

•  可選無油干式渦旋泵或渦輪泵站。

•  真空泵與儲存站分開,必要時易于維護和維修。

•  真空管路全金屬管設計,可最大限度地減少排氣,從而減少污染。

•  略高于室溫的穩定的操作溫度設計,有利于樣品桿更快放氣。

 

美國PIE公司是現代等離子清洗儀技術領先者,產品包括:Tergeo系列臺式等離子清潔儀Tergeo、Tergeo-PlusTergeo-EM),遠程等離子清潔儀EM-KLEEN、SEMI-KLEEN quartzSEMI-KLEEN sapphire),如需要,請聯系我們。

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