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美國PIE_Tergeo等離子清潔儀
全部分類
Tergeo1
Tergeo2
Tergeo3
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美國PIE_Tergeo等離子清潔儀

Tergeo系列臺式全自動等離子清潔儀具有清潔、灰化、刻蝕等功能,可用來清潔納米級樣品,去除光刻膠,清潔晶圓和集成電路鍵合焊盤,進行煤和有機物的灰化,激活聚合物、金屬和陶瓷表面官能團,獲得表面親水性,提高鍵合強度和可印刷性,促進醫療器械生物相容性??杉山胧胶瓦h程式兩種等離子源,既可清潔電鏡光闌和TEM樣品桿,也可清潔石墨烯、碳納米管、類金剛石碳和TEM載網多孔碳膜等脆弱的精細樣品。
產品型號:
Tergeo/Tergeo-Plus/Tergeo-EM
Tergeo1
Tergeo2
Tergeo3
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產品描述

Tergeo系列臺式等離子清潔

 

Tergeo系列臺式全自動等離子清潔儀具有清潔、灰化、刻蝕等功能,可用來清潔納米級樣品,去除光刻膠,清潔晶圓和集成電路鍵合焊盤,進行煤和有機物的灰化,激活聚合物、金屬和陶瓷表面官能團,獲得表面親水性,提高鍵合強度和可印刷性,促進醫療器械生物相容性??杉山胧胶瓦h程式兩種等離子源,既可清潔電鏡光闌和TEM樣品桿,也可清潔石墨烯、碳納米管、類金剛石碳和TEM載網多孔碳膜等脆弱的精細樣品。

 

Tergeo系列具有三種型號:

1Tergeo 等離子清潔儀這是一款經濟實用的等離子清潔儀。

2Tergeo-Plus大腔室等離子清潔儀這是一款具有大樣品室的等離子清潔儀,可清潔寬達150mm的樣品。

3Tergeo-EM等離子清潔儀:用于TEM樣品清潔以及去除SEM & TEM樣品的碳氫污染。

儀器特點:

 Tergeo系列是唯一能在一個系統中支持兩種清潔模式的等離子清潔儀。

Tergeo-EM標配雙等離子源、并且具有清潔TEM樣品桿的功能;其余兩款

標配浸入式等離子源,用于樣品表面清潔、蝕刻、灰化,可選遠程式等離

子源用于溫和的污染清除及脆弱易損樣品的表面活化。

 采用離子體強度傳感器專利技術,實現實時定量測量等離子強度

 13.56MHz射頻發生器,自動阻抗匹配調諧,雙源版本可脈沖工作

 直觀的觸摸屏用戶界面,可儲存20條用戶程序,全自動運行

 采用MFC(質量流量控制器)調節的氣體輸送控制

 高純石英樣品腔室和樣品托

推薦應用:

集成電路芯片引線鍵合和封裝前的清潔

清潔TEMSEM樣品,去除烴污染

親水性或疏水表面潤濕性等離子處理

增強環氧樹脂/膠水粘合強度

 用于清潔光學、激光、通訊用玻璃和光纖頭

改善MEMS微流體器件的潤濕性

蝕刻光刻膠

 剝除被膜,用于失效分析

隱形眼鏡、醫用植入物等類型醫療器械的表面處理和激活

實驗結果的一致性和可重復性對于科研和生產運行是至關重要的。因此,

我們集成了多種過程控制技術來監測和控制關鍵參數,如等離子體傳感

器、壓力傳感器和氣體輸入的自動質量流量控制器。Tergeo等離子清洗

機的操作是全自動的。直觀的用戶界面,加上7英寸的觸摸屏,使本系

儀器的操作像智能板一樣簡單。嵌入微控制器支持20個可定制的配方

程序。Tergeo系列等離子體處理系統采用先進的工藝控制技術,可為不

同用戶提供重復的日常運行性能。

Tergeo系列臺式等離子蝕刻和表面清系統可用于研究、開發等應用。TEM戶,請選用我們的Tergeo-EM具有清潔TEM樣品桿功能的等離子清潔儀;TEMSEM及其它用也可查看EM-KLEEN遠程等離子清潔系統。對于樣品桿儲存等應用,可選用多用途樣品清潔及儲存腔室。

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